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靶材工艺流程

在靶材制造的过程中,需要经历粉末冶炼、粉末混合、压制成型、气氛烧结、塑性加工、热处理、超声探伤、机械加工、水切割、机械加工、乐虎官网平台|主页化、绑定、超声测试、超声清洗、检验出货,共计15道工序。

粉末冶炼:对原料粉末进行前期的气氛烧结,对原料粉末中气体含量进行控制。

粉末混合:靶材有着独特的配方,需精确的控制各组分的含量,并严格限制杂质含量,在粉末冶金的过程中,需要将各元素充分混合均匀,粒度分布均匀,防止污染并要通过特殊工艺手段制备成混合型复粉。

压制成型:采用粉末冶金工艺制备的靶材需要对粉体料进行预压,使之成为中等密度生坯,其密度的均匀性和内部的缺陷影响着后期高温烧结的成品率。

气氛烧结:预压成型的生坯需要再经过一次或多次的高温烧结,根据不同材料选择不同的烧结温度曲线,并选择不同的烧结环境,如烧结气氛、烧结压力等,从而制备成高密度的靶坯。

塑性加工:乐虎官网平台|主页坯锭需经过大幅度的塑性变形,以获得足够的长宽厚度尺寸,并使得内部晶粒进行足够的拉伸变形,从而在内部产生足够多的位错。

热处理:乐虎官网平台|主页坯锭在经过大幅度的塑形变形后,根据不同的材料的特性选择热处理工艺,从而使乐虎官网平台|主页材料发生重结晶去除内应力。

超声探伤:靶坯加工完后需要采用波进行检查材料内部是否有缺陷,靶坯与背板绑定完成后,需要采用水浸式超声波扫描仪进行粘结层的检测验粘结面积是否达标。

机械加工:靶坯需要进行精密的机械成型加工,用于与靶坯复合使用的背板,由于承担与镀膜设备精确配合、承受高压水冷等作用,需要具备极高的尺寸精度与机械精度,加工难度较高,尤其是带内循环水路的背板,由于材质的特殊性,水路的密闭焊接非常困难,需要用到特种焊接工艺。

乐虎官网平台|主页化:靶坯与背板在绑定之前,为增强靶材和靶材与焊料的乐虎官网平台|主页润湿性能,需要进行焊合面的预处理,使之表面镀上一层过渡层。

绑定:大部分靶材由于材料的物理或者化学性能受限,不可直接装机镀膜使用,需要采用乐虎官网平台|主页焊料将靶坯与背板相互焊合连接,并且表面有效粘结率需要达到大于95%的大面积焊合,整个过程需要在高温和高压下进行。


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